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반도체 미세공정 핵심 장비 ‘펠리클’… 삼성, 中企와 손잡고 기술 확보
반도체 미세공정 핵심 장비 펠리클 삼성, 中企와 손잡고 기술 확보 펠리클, EUV 공정 반도체 오염 막아 삼성 목표치 거의 근접내년 중 대량 양산 3㎚ 이하 최첨단 미세공정 수율 상승 효과
biz.chosun.com
펠리클(Pellicle)의 의미와 세대별 차이
펠리클의 정의펠리클은 반도체 리소그래피 공정에서 포토마스크(레티클)를 보호하기 위해 사용되는 얇은 투명 필름입니다. 주된 역할은 마스크 표면의 오염물(먼지, 입자 등)이 웨이퍼에 영향
sciencetech.tistory.com
EUV공정 수율 상승의 핵심 키 펠리클(Pellicle)이란?
#EUV #Pellicle #반도체 #반도체 이슈 EUV 상용화를 위한 개선점이 아직 여러가지 있는 것을 알 수 ...
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